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TEC 高低溫Chuck

TEC溫控系統

     產品介紹

 ETS-TEC-150是一款應用于光電器件測試探針臺的6英寸晶圓溫控系統,溫度范圍為-20℃到100℃,主要由變溫卡盤和溫度控制器組成。系統具有寬泛的溫度控制范圍、緊湊的冷卻套件、高溫度精度與穩定性控制等特性,廣泛應用于6英寸及以下尺寸的半導體器件或晶圓的變溫電學性能關鍵參數分析。                                 

                 

關鍵特征                                                                     1699616759463502.png       

Ø帕爾貼元件快速降溫

Ø溫度范圍為-20℃到100℃ 

Ø 模塊化系統,適合單獨測試的需要 

Ø冷卻劑占地面積小,節省空間 

Ø兼容各大主流生產型或分析型探針臺

Ø可集成全套的軟硬件于一體


應用場景

ØCascade 探針臺溫控升級

ØMPI 探針臺溫控升級

Ø全自動探針臺高低溫升級

Ø手動探針臺溫控升級


規格參數

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